北京经开区日前集中签约129个“两区”建设项目，东方晶源微电子科技（北京）有限公司（简称东方晶源）集成电路检测装备研发生产基地项目作为承担国家重要战略、填补国内空白、解决关键技术难题的产业项目之一，正式签约落地北京经开区。

东方晶源基地项目占地面积约为45亩，拟开发应用于集成电路制造业的电子束检测／量测设备，建立满足研发和量产需求的研发生产基地，以电子束硅片缺陷检测设备、电子束关键尺寸量测设备、电子束硅片缺陷复检设备为主要产品。

东方晶源自落户北京经开区，突破多项“卡脖子”技术，其中自主研发的电子束图形缺陷检测设备更是补上了国产微电子领域短板中的短板，填补了集成电路行业“卡脖子”技术的国内空白。

“经过在北京经开区6年的研发和培育，东方晶源目前已经进入到了扩大产能的阶段，所以签约进入北京经开区产业基地是一件水到渠成的事情，借助北京经开区集成电路领域上下游企业聚集的产业优势，我们可以在这块土地上逐渐强大。”据东方晶源董事长俞宗强介绍，该项目预计今年第一季度启动，除了研发电子束相关设备外，还将开发一套面向高端芯片制造的综合良率提升系统，突破我国该领域的“卡脖子”问题，“为北京市和北京经开区的科技创新、经济发展、人才引进和产业环境建设贡献力量，填补技术空白、实现技术创新”。

一直以来，北京经开区紧抓集成电路产业发展，现已形成以中芯国际、北方华创为龙头，包括设计、晶圆制造、封装测试、装备、零部件及材料等完备的集成电路产业链；在此次签约的项目中，集成电路项目占据总签约数的一半以上。“十四五”期间，北京经开区将成为北京落实国家集成电路战略等重大产业创新攻关项目的重要策源地和主要载体。

此次东方晶源基地项目的落地，将和众多集成电路项目一起，助力北京经开区成为中国集成电路产业创新发展的核心区与承载地。